污染对真空的意义

当对真空室进行抽空时，真空室必须干净，以尽快达到所需 压力。真空系统典型的污染物包括:
生产真空系统产生的残渣 表面、螺丝钉和密封件上的油脂
与应用相关的污染物 过程反应产物、灰尘和颗粒
环境相关的污染物 冷凝蒸汽，特别是吸附在容器壁上的水分。
因此，在安装真空设备时有必要确保部件尽可能干净。真空 室中安装的所有部件必须干净、无油脂。安装的所有密封件 必须干燥。如果无法避免使用真空润滑脂，且根本是辅助安 装而不是作为密封胶，必须非常谨慎地使用。如果将要产生 高真空或超高真空，在装配过程中必须佩带干净、不掉毛、 无粉手套。